軟管泵在半導體行業中的應用

軟管泵在半導體行業中的應用

       半導體生產需要消耗大量的水和能源，其中大部分將作為廢水進行處理和排放。隨著制造商尋求擴大生產、建造新的設施來滿足前所未有的需求，業內人士必須認識到，高效地進行廢水處理至關重要。

       半導體制造涉及廣泛而復雜的渣漿和化學品，需要采用嚴格的廢水分離、處理和回收系統。處理這些渣漿，包括金屬和其它有害廢棄物質，可能會遭遇諸如實施環保法規如中國廢水排放標準所包含的巨大成本等挑戰。

       半導體生產涉及的化合物包括用于清潔和蝕刻光敏元件的氫氟酸以及用于沖洗的氨、氟化銨、過氧化氫和鹽酸、硫酸和磷酸。清洗半導體晶圓是生產過程中用水最密集的部分，產生的含氟廢水需要用石灰中和。

       中國一家新建半導體工廠主要生產家用電器用半導體。該公司采用了一系列軟管泵泵送氫氧化鈣/石灰。該泵被用作將生產過程中的高磨蝕性溶液全天候地以4-5巴的排放壓力通過管道傳輸一定的距離。